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    研究氮化鎵垂直共振腔面射型雷射之共振腔的端面處理
    • 電子工程系 /111/ 碩士
    • 研究生: 張哲嘉 指導教授: 葉秉慧
    • 本研究旨在探討乾式以及濕式蝕刻對於VCSEL共振腔端面的影響。透過兩種商用矽基板磊晶生長的氮化鎵LED晶圓,我們成功研製出了改善共振腔端面粗糙度的方法,使用KOH和UVO製程,成功將共振腔端面的表面…
    • 點閱:181下載:0
    • 全文公開日期 2025/07/28 (校內網路)
    • 全文公開日期 2025/07/28 (校外網路)
    • 全文公開日期 2025/07/28 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    以氮化鎵磊晶於矽基板晶圓製作的發光二極體之初步可靠度評估
    • 電子工程系 /111/ 碩士
    • 研究生: 張耀祖 指導教授: 葉秉慧
    • 此篇論文是使用商用氮化鎵磊晶於矽基板,磊晶結構為藍光發光二極體之晶圓製作積體化發光二極體(LED)和監控光偵測器(MPD)元件,以兩片不同廠商製作的晶圓,相同製程步驟和相似的製程參數製作,並做光電特…
    • 點閱:219下載:0
    • 全文公開日期 2025/02/01 (校內網路)
    • 全文公開日期 2025/02/01 (校外網路)
    • 全文公開日期 2025/02/01 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    以氮化鎵磊晶於矽基板的發光二極體晶圓研發垂直共振腔面射型雷射
    • 電子工程系 /111/ 碩士
    • 研究生: 李敏宏 指導教授: 葉秉慧
    • 在過去,本實驗室是以氮化鎵磊晶於藍寶石基板(GaN-on-Sapphire)的晶圓,並搭配客製化的磊晶式DBR與介電質DBR做為下上反射鏡,成功製作出垂直共振腔面射型雷射(Vertical-cavi…
    • 點閱:233下載:0
    • 全文公開日期 2025/07/28 (校內網路)
    • 全文公開日期 2025/07/28 (校外網路)
    • 全文公開日期 2025/07/28 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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